真空熱處理即真空技術(shù)與熱處理兩個(gè)專(zhuān)業(yè)相結合的綜合技術(shù)，是指熱處理工藝的全部和部分在真空狀態(tài)下進(jìn)行的。我國將真空劃分為低、中、高和超高真空。目前大多數真空熱處理爐的工作真空度在1.33~1.33×10ˉ³Pa。

　　真空熱處理幾乎可實(shí)現全部熱處理工藝，如淬火、退火、回火、滲碳、氮化，在淬火工藝中可實(shí)現氣淬、油淬、硝鹽淬火、水淬等，還可以進(jìn)行真空釬焊、燒結、表面處理等。真空熱處理爐熱效率高，可實(shí)現快速升溫和降溫，可實(shí)現無(wú)氧化、無(wú)脫碳、無(wú)滲碳，可去掉工件表面的磷屑，并有脫脂除氣等作用，從而達到表面光亮凈化的效果。一般來(lái)說(shuō)，被處理的工件在爐內加熱緩慢，內熱溫差較小，熱應力小，因而變形小。產(chǎn)品合格率高?？山档统杀?，有除氣作用，從而提高了工作的機械性能和使用壽命。工作環(huán)境好，操作安全，沒(méi)有污染和公害。被處理的工件沒(méi)有氫脆危險，對鈦材和難熔金屬殼防止表面氫脆，真空熱處理工藝的穩定性和重復性好。這一系列的優(yōu)點(diǎn)，開(kāi)發(fā)真空熱處理設備和工藝被越來(lái)越重視和應用越來(lái)越廣。